二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3 #9141156 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3是一種晶圓處理程序,設計用於處理裸機和封裝模具產品。它每個循環最多可以處理八個晶圓，並且可以配置為接受各種各樣的晶圓大小。處理程序配有一個風扇輸出組件,可將多達16個蝕刻晶片分離到單個元件中。晶片自動加載到輸入托盤中,然後用細螺距傳輸帶推入風扇輸出組件。晶片通過多級電動視覺設備進一步分離。風扇輸出組件的輸出插槽將分離的晶片移動到機械拾取頭,然後將其轉移到索引器轉盤上。對齊器抓住晶片，對對齊器進行索引，並將晶片沈積到索引輸出槽中。BROOKS 5858-1E2A1A3配備了兩個獨立控制的晶圓負載鎖，每個鎖的最高工作溫度為300攝氏度。雙晶片負載鎖可以單獨操作，也可以串聯操作。晶圓處理程序支持濕式和幹式結合工藝,可用於各種工藝步驟,包括線接和模具連接。此外，處理程序可用於手動操作與一個單獨的接口模塊。控制電子設備和軟件的設計旨在提供晶片的精確註冊，並提供工藝參數和配方的數據存儲。晶圓處理程序設計用於安全、高效的操作。其材料兼容性和易於設置使其非常適合半導體行業的一系列應用。PRI AUTOMATION 5858-1E2A1A3的高級模塊化架構允許它與其他組件集成，如機器人和模具處理程序，創建一個自動化的模具處理系統。集成視覺單元可以檢測加工產品的方向、尺寸和形狀的誤差，從而實現更高的工藝精度和提高產量。晶圓處理程序還配備了維護訪問端口，讓用戶能夠快速檢查和維護機器。5858-1E2A1A3體積小巧,噪音小,性能最高,中斷最小。