二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5858-1J1A1A5 #9141153 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 5858-1J1A1A5 Wafer Handler是一種輕巧、用途廣泛的機器,專為半導體處理應用而設計。它能夠處理直徑不超過200毫米或8英寸的晶片。處理程序利用內部晶圓傳輸模塊將晶圓從加載器移動到用戶的晶圓處理設備。處理程序為晶圓的精確處理提供拾取、放置和對齊功能。自動晶片處理程序采用模塊化設計,由兩個獨立的組件組成：磁頭和托盤。頭部設計為可容納直徑不超過8英寸的基板。它配有四個獨立的端效應器，它們對齊晶片以進行適當的處理。末端效應器將晶片對齊,使其牢固地安裝在支架中,並防止其在運輸過程中彎曲。頭部安裝在提供平滑、精確運動控制的線性伺服托盤上。兩個伺服獨立控制上下托盤，允許磁頭在垂直或水平方向上移動，以最佳對準晶圓的位置。紙盒或底座是處理程序的第二個組件。它配備了在運輸過程中固定晶片的真空設備。托盤還有一個清潔系統，旨在最大限度地減少晶圓的汙染，並在加載前提供關鍵的表面準備。晶片取自托盤，送入用戶晶片處理設備，完成傳輸。BROOKS 5858-1J1A1A5 Wafer Handler是一個用戶友好的單元，設計用於半導體加工應用的可靠操作。機器的模塊化設計、對齊能力和自動加載過程為晶圓傳輸提供了最大的靈活性。該工具可與多種晶圓處理設備集成，成為多種應用場景的理想選擇。