二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5864E #9007054 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 5864E是業界領先的晶圓處理器,用於前端半導體制造過程。它具有耐用和可靠的設計,特別適合極端可靠性和可重復性最重要的操作。BROOKS 5864E晶片處理程序具有最先進的設計,能夠更快、更準確地定位晶片在工藝模塊中的位置,從而提高產量和系統穩定性。它緊湊的模塊化設計使它能夠適應各種空間，並且需要最低限度的維護，確保平穩高效的操作。晶圓處理器配有非接觸晶圓導引系統，可在高達6,800晶圓/小時的時間下進行精確的晶圓處理。它還配備了一個能夠對晶片進行索引的集成機器人臂和一個熱環載卸站，確保了可靠和可重復的操作。此外，其高效的晶圓傳輸系統使其能夠以最小的振動和精確的定位移動晶圓。PRI AUTOMATION 5864E晶圓處理程序還為直徑從8英寸到12英寸的各種晶圓尺寸提供了高效傳輸。其機載情報確保加強了對過程的監測和監督。它與各種I/O源完全集成,可實現卓越的工藝控制和產量優化。晶圓處理程序通過各組織的ESD Precautions Class 1和Global Standards of IEC 61241-2-2認證。這確保了其運行過程中的安全。此外,它還符合RoHS指令和CE Mark認證,使其具有高度的安全性、環境友好性和法規遵從性。綜上所述,5864E是一個高級晶圓處理程序,旨在為半導體制造過程提供精確的處理、改進的吞吐量和產量優化功能。它具有最先進的設計，保證可靠運行，符合行業法律法規。它具有眾多先進的功能和易於維護的特點,是任何前端半導體生產的理想解決方案。