二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 5877 #9353204 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 5877是一種自動化晶圓處理程序,旨在最大限度地提高晶圓處理應用中的吞吐量和性能。它具有獨特的單平面體系結構，可以同時傳輸多達21個晶圓。設備是完全自動化的，具有自動化處理、加載和卸載的多個階段，以確保晶圓的連續吞吐量。自動晶圓處理器配備了包括機械臂控制、可編程直線電機和功能齊全的可編程邏輯控制（PLC）系統在內的許多功能。機械臂控制允許通過手動或自動調整來精確移動晶片。可編程線性電動機可實現晶片的一致和可重復運動，而PLC單元則可與應用程序中的其他系統交換操作數據。此外，這種自動晶片處理程序還包括多種安全功能，如旅行過度和旅行不足保護以及機械聯鎖機。BROOKS 5877還包括一個基於輸送機工具的晶圓處理子系統。這個子系統由滾子和皮帶組成，將晶片從裝卸站轉移到卸卸站。滾子水平移動晶片,而皮帶垂直移動晶片。而且晶圓處理器子系統還包含了磁盤驅動器、傳感臂和計數器等幾個電動機驅動的設備。磁盤驅動器提升和降低晶片,傳感臂讀取和記錄晶片數據,計數器記錄已處理的晶片數量。此外，綜合視覺資產能夠在裝卸過程中精確跟蹤晶片。它還通過支持晶圓尺寸和間距的自動設置來減少設置時間。此外,PRI AUTOMATION 5877還帶有一個單獨的晶圓熱處理室,可通過PLC進行連接和控制。這個腔室可以被編程為以退火、擴散、蝕刻、封裝和晶片去鍵等多種方式處理晶片。綜上所述，5877是專門為晶圓處理應用而設計的自動化晶圓處理程序。它具有集成視覺模型、晶圓處理子系統和晶圓熱處理室，能夠精確跟蹤和處理晶圓。它還能夠同時處理多達21個晶片，並配備了廣泛的安全特性。總體而言，這種自動晶片處理程序為晶片處理應用提供了可靠、高效的解決方案。