二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 7000 Series #80123 待售
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ID: 80123
Box reticle stockers
With (3) SVG Reticle stockers, 11.5" x 144"
(3) NIKON Reticle stockers, 11.5" x 144"
1998-2000 vintage.
BROOKS/PRIA AUTOMATION 7000系列是一款高性能晶片處理程序,旨在提供工業環境中晶片的可靠生產。該設備由兩個主要部件組成:一個自動晶圓傳輸系統和一個晶圓夾緊/解壓模塊。這種組件組合允許快速、精確的晶圓移動和沿著生產線的精確定位。Automation 7000的傳輸單元設計用於精確可靠地處理直徑不超過8英寸的晶片。該機配備了三軸線性X-Y-Z門架和一個旋轉表,用於每個晶片沿其路徑的精確對準。這種運輸工具以最大吞吐量提供高精度,以滿足生產線的需求。晶片夾緊/松開模塊能夠快速、準確地處理晶片。該模塊利用四個真空致動夾具沿其運動路徑固定晶片。每個夾具能夠提供超過450磅的夾緊力,確保晶片在運動過程中牢固地固定。模塊的自動運動控制提供了準確性和可重復性,以確保晶圓保持正確對準。自動化7000還配備了一套安全功能,以保證操作員、設備和晶片的安全。在運輸模型的設計中包括了一個避免碰撞的資產,而晶圓夾緊/解鎖模塊則配備了緊急停止設備和外殼互鎖。總體而言,BROOKS 7000是一種精確高效的晶圓處理程序,旨在提供可靠的晶圓生產。綜合運輸和夾緊/松開系統結合了快速、精確的晶片運動,而運輸單元和夾緊模塊的安全特性確保了每個晶片裝卸操作的安全性和準確性。
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