二手 BROOKS / PRI AUTOMATION 9700-7232-01 #9175424 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION 9700-7232-01是一款晶圓處理程序，設計用於半導體制造應用。該設備能夠從盒式磁帶中處理6到8英寸的晶片，將其轉移和定向到真空卡盤上，並將其送入和送出工藝室。自動化系統由一系列皮帶、驅動軸和線性運動執行器組成，它們協調工作，在整個運動範圍內提供平穩和精確的運動。單位的核心是轉移臂。它是一個多軸裝置，由兩個獨立驅動的臂組成，對晶片在其工作範圍內的精確控制。傳遞臂的基座安裝在垂直支撐柱上，允許圍繞所有三個軸自由運動。手臂的底座也裝有真空端口。這種真空有助於牢固地抓住晶片在其工作範圍內，同時仍然允許最小的移動。手臂的底座還配有一個定向傳感器（或「眼睛」），用於檢測晶圓在移動時的方向。它可以檢測順時針和逆時針方向以及上下方向。機器的另一個組成部分是真空卡盤。它是一個平坦的圓形平臺，安裝在傳遞臂的末端。它設計用於在進出加工室的運輸過程中牢固地將晶片固定到位。卡盤裝有一系列銷釘，設計用於吸塵時縮回。這樣可以確保晶片牢固地固定在適當的位置,同時允許最小限度的移動。該工具還配備了一系列將晶片從盒式磁帶轉移到加工室的皮帶。皮帶全部由伺服馬達驅動，允許對皮帶的速度和方向進行流暢和精確的控制。資產還配備了一系列限位開關和傳感器，確保晶圓始終以正確的方式傳輸，不會中斷過程。BROOKS 9700-7232-01是一款功能強大的型號，為半導體制造過程提供精確精確的晶圓處理能力。它堅固的設計和廣泛的功能確保它可以處理6到8英寸不等的各種晶片。其先進的運動和定向能力、可靠的皮帶和卡盤系統以及眾多的傳感器相結合，使其成為各種應用中自動晶圓處理的理想選擇。