二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293 #152178 待售

ID: 152178
優質的: 2000
Robot, 2000 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-CE-S293是一種高度先進的晶圓處理程序,可提供高效、可靠和自動化的水平晶圓傳輸。這款晶片處理程序提供直徑最大為8英寸的晶片,用於廣泛的行業管理晶片的裝卸。它采用堅固、易於維護的機械底盤、精密的Z軸提升、原位校準、所有軸上的伺服驅動、輸送機設備以及可調節的真空撥片。BROOKS ABM 405-1-CE-S293晶圓處理程序配備了一個具有直觀圖形用戶界面(GUI)的多站點控制器。這個自成一體的單元可以被編程用於各種應用,包括晶圓植入物,拾取和放置,晶圓研磨,等等。它非常適合半導體環境中的任務,如載荷移植、線路對準和腔室載荷。除了直觀的控制外,PRI AUTOMATION ABM-405-1-CE-S293還具有集成視覺系統和120 x 30像素高分辨率攝像頭,用於捕獲和分析數據。該晶片處理程序采用離線和在線校準兩種方法,確保操作準確可靠。此外,它還設計了各種安全系統和錯誤消息,有助於防止錯誤操作。BROOKS ABM-405-1-CE-S293的可編程設置包括:晶圓直徑、晶圓厚度、晶圓傾斜、晶圓旋轉速度、預處理和後處理步驟速度、輸送機速度等。它還具有處理多種晶片類型的靈活性,包括未分割和矩形芯片。在X軸和Y軸上,可在+/-6mm行程內調節「拾取」和「投擲」第三臂。ABM-405-1-CE-S293是一個功能強大、高度可靠且易於編程的晶圓處理單元。它以先進的特性和技術使晶圓運輸更加平穩高效。它還包括一個高效、經濟高效的維護計劃以及易於更換的工具。這種堅固可靠的機器是控制、處理、裝卸晶片的理想選擇。
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