二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ #152175 待售
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BROOKS/PRIA AUTOMATION ABM 405-1-NOZ晶片處理程序設計用於晶片探針、等離子體蝕刻工具和其他涉及晶片處理的設備。它擁有16.536英寸x 16.536英寸的工作包絡,非常適合高精度基板管理和大批量生產應用。BROOKS ABM 405-1-NOZ采用獨特的雙臂雙夾具設計,包括先進的端效應器和真空吸盤設備。該系統非常適合安全和精確的晶片處理,確保最大限度的抓地力和最小振動或操縱晶片表面。晶圓處理機構設計用於容納直徑從3"到12",厚度最大為1.75"的晶圓。PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ還具有集成的多傳感器視覺單元,可增強晶圓對準、定位和居中精度。該機器可以識別晶片的邊緣,並提供有效的晶片處理和螺旋槳操作所需的位置信息。視覺工具使操作員能夠執行全自動晶片處理,增加吞吐量時間並最大限度地減少手動幹預。晶圓處理程序還通過其板載PLC控制器提供靈活的控制功能。該控制器可實現準確、可重復的晶圓處理過程,並提供機器性能數據的實時反饋。可以收集晶圓中心精度和其他關鍵值的數據。ABM 405-1-NOZ配備了創新的微芯片傳輸臂解決方案,非常適合處理微型芯片或芯片。這種傳動臂,其獨立控制的吸盤和手指,可以正確對準晶片並呈現給接收螺桿,在過程中提供可靠的重復性和準確性。BROOKS/PRI AUTOMATION ABM 405-1-NOZ具有最新的安全功能,包括互鎖的機箱和工藝區域隔離、全職接地路徑監控以及用於保護操作員的超壓/脈沖監控。此晶圓處理程序的安全合規性旨在超越客戶需求和行業標準。總體而言,BROOKS ABM 405-1-NOZ晶片處理程序是晶片測試和處理設備的絕佳補充。它的機器人自動化功能允許高效、可重復和準確的性能-所有這些都為操作員提供了最大的安全性。對於可靠、安全、準確的晶圓處理至關重要的應用來說,這是一個理想的選擇。
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