二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #188172 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293是用於半導體制造過程自動化的先進晶圓處理解決方案。它專為潔凈室應用而設計，通過其集成的控制和內置的安全系統具有高度的操作靈活性。BROOKS ABM-405-1-S-CE-S293配備了機器集成和控制所需的所有數字輸入、控制和輸出。它采用不銹鋼框架和耐用可靠的電動機驅動機械部件，以實現最大的可靠性和性能。PRI AUTOMATION ABM 405-1-S-CE-S293適用於300 mm和200 mm晶圓處理操作。它可以容納各種類型和尺寸的晶片，無論是模具形式還是晶片形式，確保精確的自動化和可靠性。它的特點是具有高精度高度調整的大型工作區域,在盒式磁帶的上方和下方,大小可達300毫米。該單元的機械部件設計有一系列的特點，以允許操作的靈活性。這包括滑輪設置、晶片開口、載荷和方向控制,以及手動調整以預備紙張和將晶片定位在組件的處理部分。BROOKS ABM 405-1-S-CE-S293可配置為運行兩個或四個盒式磁帶。它也有單獨的卡帶方向，可以編程為運行多種晶圓類型。晶圓方向可以調整以適應任何晶圓尺寸、形狀或外形尺寸。該裝置還具有用於精確晶片對準的手動速度撥盤和用於可調晶片加載精度的手動減震器。其高精度傳感器可實現快速、精確的晶片捕獲和傳輸,並具有控制晶片運動的集成真空系統。該單元還包括手動和自動安全區，以保護操作員在與該單元一起工作時的安全。PRI AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293易於設置和操作,其模塊化設計提供了簡單的即插即用界面。集成控制和模塊化功能的結合確保了無錯誤的調試程序和與現有設備的無縫集成。該系統與幾個行業標準操作系統完全兼容，並配備了符合最嚴格全球安全法規的高級安全功能，包括SEMI S2和ISO 13849.1。