二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407 #132339 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ABM-407 Wafer Handler是一種高度自動化和集成的機器人設備,旨在可靠地、準確地傳輸、對齊和處理被稱為基板的精確數量的半導體晶片。BROOKS ABM-407的精確設計和構造使其成為需要高效處理易碎昂貴基板的應用的理想選擇。PRI AUTOMATION ABM-407利用稱為BRIO PASS Vacuum Clamps的加工室來連接用石英和矽等多種材料建造的基板。連接到真空夾具的端部效應器能夠一次固定四到十二個基板，這取決於所使用的特定夾具配置。定位系統采用雙軸萬向節模塊，可精確旋轉和定位基板。這樣就可以精確地放置和重新定位基板,以便進行高精度的探測。ABM-407旨在提供與現有工廠自動化系統的無縫集成。它設計用於與ATM和其他機器控制器的行業標準模型接口。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION ABM-407具有內置的安全功能,例如警告單元,提醒操作員註意潛在的沖突。例如，如果晶圓處理程序接近物體或人的距離太近，警告機器就會照亮。BROOKS ABM-407易於使用，操作方便，便於底物裝卸，具有很高的重復性和可靠性。該工具具有用於定位和基板識別的集成視覺資產、用於更好探測精度的debounce和z-tilt功能,以及用於探測和對準的高精度運動。此外,PRI AUTOMATION ABM-407還具有精確的溫度控制和濕度測量軟件,以便在實驗運行期間能夠準確監控環境和基板。總體而言,ABM-407 Wafer Handler是一種可靠且自動化的晶圓處理模型,能夠以高度的精度和可靠性對齊、處理和傳輸基板。它的設計具有多種特點和功能，以確保基板能夠安全高效地處理。