二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293 #9171112 待售

ID: 9171112
Robot KLA / TENCOR / ASD P/N:0014446-000 P/N: 0190-22246W 2003 vintage.
BROOKS/PRIA AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293是一種先進的晶圓處理程序,用於半導體制造行業,以安全和受控的方式方便晶圓基板的運動。該裝置旨在最大限度地減少晶片基板的汙染和損壞,幫助將生產成本降至最低。BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293有一個小的框架尺寸,它可以處理各種尺寸的離散和連續晶片。晶片厚度變化的最大公差為25 µm ±,確保晶片沿著傳輸路徑安全平穩地運行。它還以高精度、高速、穩定的方式構建,使其能夠以安全可靠的方式準確、快速地將晶片從一個點移動到另一個點。PRI AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293設計用於真空和機械晶片加載。其集成的旋轉升力和伺服升力確保晶片的精確定位和對準,從而使任何細膩的晶片簽名保持完整。其精密的運動控制系統具有先進的算法,以糾正任何錯位,並防止晶圓處理過程中的任何震動或碰撞。ABM-407B-1-S-CE-S293還包括隔振、氣候控制和減振系統,以確保機器人手臂的運動沒有任何不必要的噪音或振動。這降低了晶片損壞的風險,並最大限度地減少了汙染。它還具有幹式清潔底座和端口,以清除系統中的空氣和氣體,進一步確保晶片免受汙染。BROOKS/PRIA AUTOMATION ABM-407B-1-S-CE-S293具有全方位的接口,包括一系列接口,以實現真空泵、夾具、線性執行器和電機驅動程序的連接。這使得它與一系列晶圓制造系統兼容,從入門級系統到復雜的自動化應用程序。它還兼容全機視覺系統,允許先進的運動控制和跟蹤能力。總之,BROOKS ABM-407B-1-S-CE-S293是一種先進的緊湊晶片處理程序,旨在保護敏感晶片基板免受汙染和其他損壞,同時提供高度準確可靠的運動控制。其振動和氣候控制系統、幹式清潔底座和綜合接口確保它能夠處理各種各樣的晶圓類型和制造系統。
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