二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #185016 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS是一種自動化晶圓處理程序,旨在實現高精度晶圓傳輸和對齊。它能夠處理直徑達200毫米的晶片，並使用2軸機械臂在不同的盒式系統之間移動晶片。手臂可以編程為在手動控制下在最多三個軸上移動晶圓，從而使晶圓精確對準。BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS配備了晶片識別光學傳感器，使其能夠在正確的盒式設備中準確定位、定位和對準每個晶片。視覺系統也可用於在傳輸過程中定向和對齊晶片。另外，機械臂可以編程為根據需要夾緊和解開晶片。PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS設計為可靠、可重復、安全的晶圓處理解決方案。它需要最少的操作員幹預，只需要基本的用戶輸入程序的機械臂。該單元還利用操作前後的自檢過程，使其能夠自動運行診斷測試並識別和報告可能遇到的任何錯誤。ATM 105-1-2-S-RHS采用硬質鋁制框架，包括除塵器，以確保清潔操作條件。它還配備了一套確保操作員長期安全的安全部件，包括酸傳感器和滅火機。該工具還可以根據需要配備額外的安全選項。最後,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS可用於廣泛的晶圓處理應用。這使得它適合用於各種半導體制造、研究和實驗室設施。BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS具有高精度、可編程性和可靠性,是自動晶圓傳輸和對準的理想解決方案。