二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS #9116101 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS是一種先進的晶圓處理程序，設計用於處理單個晶圓基板。它能夠每小時運行1200個晶圓，可容納6至8英寸晶圓。此晶片處理程序配置為與BROOKS ATM晶片檢查和計量設備（如ATM 210-600-100-S直接集成。它還能夠連接到ZED自動化機器人臂，用於晶圓處理程序和計量系統軌道之間的晶圓傳輸。BROOKS ATM 105-1-2-S-RHS采用不銹鋼框架,UL等級,並采用符合JEDEC潔凈間標準的衛生設計。由於包含了雙面模式,根據操作員的晶片卸載要求,處理程序可以從設備的兩側運行,因此設備中最多可安全運送150個晶片盒式磁帶。該裝置還設有安全門，有助於保護機器集成人員在與該裝置一起工作時免受任何潛在傷害。PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS由具有三相110或208V功率的交流驅動器工具提供動力,可以以0-200半/分鐘的速度自動運行。它還具有脈寬調制（PWM）運動控制、分辨率為1024脈沖/旋轉的光學編碼器（有助保持高度精確的運動控制）和TeachPendant通信資產。PWM和優化技術允許設備將所有運動保持在0.001英寸內。所有內部驅動器、傳感器、限位開關和電氣系統均由PLC和HMI控制,以確保正常運行。ATM 105-1-2-S-RHS還具有真空卡盤模型，用於將晶片精確定位和加載到設備上。該單元包括一個激光傳感器和視覺設備，幫助指導晶片定向，並在晶片丟失時更新操作員。此外，該裝置還配備了中斷檢測系統，以確保晶圓的運動是一致的，並且被中斷的晶圓被精確地重新定向並返回到路徑上。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM 105-1-2-S-RHS是一種高效可靠的晶圓處理程序,專為滿足先進的技術處理需求而設計。其先進的特點和功能可以提高操作效率和安全性，同時其衛生設計確保安全的工作環境。這個晶圓處理程序是那些尋找一個可靠的單位，能夠跟上快速的生產率，幫助他們保持領先曲線的完美選擇。