二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9194553 待售

ID: 9194553
優質的: 2010
Wafer handling robot 2010 vintage.
BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE是一種多軸晶圓處理程序,旨在最大限度地提高晶圓處理設備的效率。BROOKS ATM-105-1-S-CE是一種高性能晶片處理程序,能夠精確精確地掃描、切片和裝卸晶片。這個晶片處理程序提供了可重復的步進和重復運動和最高的可達到的吞吐量,即使與小,復雜的晶片。PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE由4塊板組成,包括控制板、I/O板和編碼器板。控制板包含一個基於IBM PC的系統,其中包含Microsoft Windows 95/98/00/NT操作系統和隨附軟件安裝的步進電機控制器卡。驅動步進電機的I/O板位於電子組件的邊緣。編碼器板從步進電機接收脈沖,電子元件在系統溫度監測中起作用。步進電機和編碼器板直接連接到中央處理器(CPU)和內存。ATM-105-1-S-CE具有多種掃描和切片功能,以及優化的OEM晶圓處理軟件包。晶片處理程序具有獲得專利的「平滑」掃描模式,可提供可重復和極其精確的晶片切片性能。它還支持多個晶圓大小的處理和切片操作,這使得它非常適合各種基於晶圓的應用。最大操縱晶片尺寸為8英寸直徑,但安裝了合適的適配器也可以處理更大的晶片。BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-105-1-S-CE包括標準數量的功能,例如電子速度,這些功能有助於實現更快的過程,從而提高吞吐量。它方便的滑動板,加上真空吸盤和低力夾具,使得晶片可以在不接觸晶片活動表面的情況下進行裝卸。再循環球形螺釘還可以使晶片運動平滑而平緩,這對於清潔至關重要。最後,晶圓處理程序具有直觀的用戶界面和實時圖形顯示.該用戶界面包括一個可編程邏輯控制器(PLC)以允許工廠地面操作,並提供了一些通信端口,用於連接外部設備或鏈接到UPW全工廠監控系統等系統。通過最先進的電機控制器設計,BROOKS ATM-105-1-S-CE提供了難以控制的晶圓處理吞吐量和精度。
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