二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE #9197649 待售

ID: 9197649
優質的: 2003
Wafer handling robot 2003 vintage.
BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-105-1-S-CE晶圓處理程序是一種高性能晶圓處理設備,旨在通過最先進的超快運動能力提供卓越的產量和可靠性。該機設計精密、可重復晶片定位,為半導體和晶片級集成電路生產提供最佳工藝穩定性和收率。BROOKS ATM-105-1-S-CE能夠處理多達12英寸(300毫米)的晶圓,非常適合大批量生產。它配備了異常快速的運動系統,包括高速、高精度的直線電動機、緊湊的雙軸伺服電動機和專有的超快步進電動機,提供快速、可重復和可靠的納米級定位和可重復性。此外,該機具有高度剛性,大輪廓龍門設計,使其適用於高精度的納米處理。PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE還包含許多高級功能,旨在縮短周期時間並提高吞吐量。例如,它利用自適應配方學習(ARL)技術,該技術自動為每個晶片學習最佳的處理條件,並根據機器的實時測量結果生成最高效的配方。此外,這臺機器還配備了實時工具操作監測(RTM),這是一個以工具為中心的監測單位,用於測量、記錄和報告腔室及其部件的逐項操作。這樣可以確保最佳操作,並為進一步分析和進一步優化過程提供數據。ATM-105-1-S-CE還包括多腔加載/卸載(MCLU),使晶片能夠連續生產具有不同工藝配方的晶片。此外,它還具有復雜的用戶界面,可提供可編程警報、自我診斷和警告機器。該工具還提供了一系列安全功能,如安全區、激光傳感器和自動中止循環,以維持安全的生產環境。總體而言,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105-1-S-CE晶片處理程序是一種高度可靠、高效和精確的晶片處理機器,可提供最佳的加工產量。它是高容量晶圓級集成電路和半導體生產的理想選擇,其先進的微定位技術使其適合納米處理。其廣泛的特性和功能使其成為極具吸引力和成本效益的資產。
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