二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #9064558 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-105是為半導體生產中的高級自動化解決方案而設計的高性能晶圓處理器。該工具提供了一個完全集成的平臺，用於在工藝工具和托盤之間以精確的精度和控制進行晶片傳輸。此工具基於緊湊的模塊化設計,便於安裝和維護。BROOKS ATM-105的主機架是由剛性鋁鈑金結構打造而成，為更高的吞吐量要求提供了極為堅固的結構。高精度真空型晶片處理設備包括雙軌真空型穿梭機和用於可靠抓握操作的晶片卡盤。先進的自動顯影特性可以補償基於真空的傳輸導軌系統中的所有偏差,從而確保晶圓的精確處理,而無需手動調整。高速電機驅動的旋轉執行器可確保平穩、精確的旋轉,而精密的線性執行器則可實現晶圓的超快、平滑的索引。PRI AUTOMATION ATM 105還設計了一種先進的單手機械臂,允許在加工工具和托盤托架之間快速、無縫地傳輸晶片。這種機械臂和基於真空的晶片處理單元的組合還可以使晶片在托盤之間快速、一致地裝卸。此外,先進的視覺導引機使PRI AUTOMATION ATM-105能夠精確對齊晶片和托盤,從而確保準確性和可重復性。ATM 105還具有強大的控制工具,包括用戶友好的圖形用戶界面（GUI）。此控制資產可實現對所有功能的遠程直接控制,提供精確的控制和詳細的過程監控。GUI還為用戶提供晶圓處理程序環境的實時可視化,使操作員能夠輕松查看當前數據和處理信息。簡而言之，BROOKS ATM 105晶圓處理程序是一種功能強大且精確的工具，為半導體生產中的高級自動化提供高性能晶圓處理解決方案。ATM-105具有高精度、精確度和用戶友好的界面,是當今半導體制造自動化解決方案的理想選擇。