二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-105 #99632 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105是一種晶圓處理程序,專為中端晶圓制造應用而設計,如CMP、CVD和Etch。BROOKS ATM-105是一種模塊化設備，設計靈活，以適應各種基材和工藝。該系統具有高速平面串聯傳輸系統，可精確控制晶片載波運動，精確測量位置和速度，穩定、可靠、恒定、可重復的精度。PRI AUTOMATION ATM 105還通過其標準的LNC-1000和通信包提供設備控制。這個包包括定義設備參數和處理配方的能力，可以用來快速設置任何過程步驟。BROOKS ATM 105采用了改進的晶圓處理機制，在處理過程中盡量減少晶圓切塊。ATM 105易於維修氣動、電氣和機械部件,便於維護,可快速響應並減少停機時間。BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM 105在安裝到單元中時自動校準每個卡帶，並快速識別何時安裝了不同的卡帶，確保準確、可重復的晶圓跟蹤和傳輸。通過連接晶圓取向的高精度檢查相機可以實現更高的精度。PRI AUTOMATION ATM-105能夠自動識別特征,從而可以對每個晶圓曲面的路由進行高級決策。該機器通過對晶圓特性進行實時對準和檢查,提高了吞吐量並減少了非增值操作。ATM-105可以使用個人計算機控制的界面處理直徑不超過8英寸的晶片,從而提供用戶友好的操作。該工具還提供以太網接口,用於遠程訪問設備、操作員和流程管理系統。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-105是一種可靠、高效和安全的資產,可用於任意數量的工藝和生產環境。其高水平的控制和精確度使其成為中端晶圓制造工藝的理想解決方案