二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107-1 #9256423 待售
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BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-107-1 Wafer Handler是一種多用途工業自動化工具,專為精密晶圓處理過程而設計。它采用模塊化設計,可根據特定任務和應用程序需求進行各種定制和配置。BROOKS ATM-107-1的基本軟件包包括:基於人體工程學PC的操作員控制臺,提供基於圖形用戶界面(GUI)的機器控制;自動晶圓傳輸和分割設備;Micron MultiAx隔離系統;保證晶圓對準和精確註冊的先進自動化單元;以及功能強大的晶圓處理軟件套件。該機器還配備了廣泛的選項,包括自動視覺預對準系統、自動錄音、高速對準陶瓷盒式磁帶、陣列傳輸支持以及用於晶圓安全控制的高級產品跟蹤。自動晶圓傳輸和分割工具包括紡紗機、推進器和分離式傳送帶,這些傳送帶可管理晶圓的操作、傳輸和定向,而無需人工幹預。Micron MultiAx隔離資產保證每個晶片在到達工藝模塊之前都經過精確註冊和精確定向,以盡量減少潛在的錯位誤差。PRI AUTOMATION ATM-107-1還提供了增強的晶片處理功能,例如晶片到晶片處理和晶片分割選項,使用戶能夠將單個晶片切片分離並移動到各自的盒式磁帶。此外,ATM-107-1的目標模型確保每個晶圓目標都被精確放置,尤其是在處理大型工具時。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-107-1還配備了復雜的跟蹤和控制模塊,如定制機器人定位、 以及流程監控、可視化和驗證功能,可全面監控晶圓傳輸和處理進度, 並使用戶能夠配置實時警報,這將有助於保持較高的生產率,並確保所有過程按照計劃進行。總體而言,BROOKS ATM-107-1 Wafer Handler是一種高度先進和可靠的自動化工具,可大大提高效率並減少各種晶圓處理過程所需的時間。其模塊化和可定制的設計結合了直觀的GUI、先進的過程控制功能和強大的產品跟蹤功能,使其成為任何工業晶片處理設備的理想選擇。
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