二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-107/407 #9206798 待售
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BROOKS ATM-107/407是一種晶圓處理程序,設計用於運輸、加工、測試、包裝和清潔半導體晶圓,用於制造微電子材料。這種多用途的裝置提供準確、可重復的操作,從晶圓處理到試樣形成。該設備具有多種自動化功能,包括高精度的6軸機器人臂、多傳感器卡盤和伺服進紙系統。機器人臂能夠精確定位和控制晶片載波,而多傳感器卡盤則可以方便地處理和定位各種晶片大小和類型。伺服饋線裝置設計成能夠快速準確地加載和卸載晶片。該機配備了高效真空工具、改進的PCB提升資產以及樣品碰撞防護。這些特性使得晶片運輸速度快,樣品處理可靠,可重復性高。此外,該腔室設計具有較高的溫度控制能力,使樣品質量更加一致.該ATM-107/407還包括一個Hotloop功能,它有助於快速準確地稱量樣品組件。此外,該模型與底物和薄膜研究兼容。該ATM-107/407配有各種晶圓處理工具,如刷子、散熱器和噴嘴。它們旨在確保晶片和多氯聯苯的準確、可重復處理。它還具有一些旨在維護有組織和安全的工作環境的雜項功能。例如,設備配備了集成的安全互鎖和指示燈系統。安全聯鎖裝置的設計是為了防止機器的任何意外操作,而指示燈則向用戶發出工具運行的信號。該ATM-107/407是一種高效可靠的晶圓處理解決方案。它旨在提供最高的準確性和可重復性,同時最大限度地減少潛在的操作員錯誤,確保生產質量和速度以及最佳生產效率。此外,隨附的軟件套件進一步提高了資產的準確性。這種測試、過程和維護程序的集合增強了樣本操作的控制和準確性,從而確保了樣本輸出的一致性。
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