二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #9211142 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-305-1 Wafer Handler是一種設計精良且可靠的自動化設備,設計用於處理薄而敏感的晶片（如半導體制造中使用的晶片）。BROOKS ATM-305-1是一個兩軸晶圓處理程序，在X軸和Y軸上都有空氣軸承。這提供了卓越的低摩擦運動和出色的位置精度，使其能夠處理直徑達6英寸的晶片，最大50微米的總誤差。PRI AUTOMATION ATM-305-1配備了三軸光檢測系統，用於精確地將晶片設置在精確的位置。一旦晶片被精確對齊，處理程序就可以用短而高精度的步驟移動它，確保每個晶片在處理操作過程中被精確定位。這對於使用纖薄晶片特別有用,因為精確定位對於使用這些精細材料至關重要。ATM-305-1還配備了一套驅動電機，包括兩臺非常高扭矩的步進電機，提供穩定、可重復的力，使其能夠安全準確地移動晶片。還包括一些安全功能，如控制傳感器、冗余安全裝置和可選的電離空氣噴射。這樣可以確保晶片的安全處理,並降低晶片損壞的風險。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305-1還提供一系列維護和支持功能。這包括遠程診斷和控制,允許操作員從PC或移動設備檢查處理程序的狀況。此外，該系統還提供了一系列備件和組件，允許操作員自行進行維修和更換。總體而言,BROOKS ATM-305-1晶片處理程序是使用敏感晶片的絕佳選擇,因為它具有高度精確和可靠的運動控制、安全特性以及維護和支持特性。有了這個系統，就可以實現一個可靠準確的生產過程，確保每一個晶片處理的錯誤或損壞最小。