二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305-1 #9211145 待售
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BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-305-1是一款最先進的晶圓處理程序,專為大容量處理程序而設計。自動晶圓處理程序可以容納200毫米以下的晶圓大小,並允許晶圓到晶圓的匹配和堆叠。它的高速使每小時最多可處理300個晶圓,一次最多可處理60個晶圓。設備還可以接受來自七個不同來源的晶片,並且可以將晶片轉移到系統的三個不同部分。BROOKS ATM-305-1有幾個使它成為頂級晶圓處理程序的功能。它是為了可靠性和低維護而設計的,並且內建了大量的傳感器來監視設備的運行和壽命。它的模塊化設計有助於確保組件易於維修。此外,該裝置的設計具有高精度和重復性,在定位晶片時精度± 1 μ米。PRI AUTOMATION ATM-305-1還具有許多安全功能。它設計有門互鎖和E-Stop,以確保操作員不會受到威脅,並且在緊急情況下機器會很快關閉。它還有一個空氣淋浴,以幫助保護晶片免受汙染。此外,淋浴功能有助於在轉移過程中去除晶片中的顆粒。該工具還包括吸力特性,以幫助處理和轉移晶圓。ATM-305-1是加工晶片體積的絕佳選擇。它強大的設計、安全特性、高精度和靈活性,使其成為各種大容量過程的絕佳解決方案。它的E-Stops和其他安全功能也使它成為安全的選擇。BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-305-1的模塊化設計也以最小的維護確保了長期的操作可靠性。總而言之,BROOKS ATM-305-1是高容量晶圓加工的絕佳選擇。
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