二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-305 #9164185 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-305 Wafer Handler是一款高效可靠的機器人處理器，用於提供半導體和太陽能電池板生產、晶圓檢驗等高精度制造作業的運輸和處理解決方案。BROOKS ATM-305由鉸接式機械臂、自動晶圓傳輸設備和集成控制系統組成。PRI AUTOMATION ATM-305的鉸接式機械臂能夠以最小的振動提供精確和精確的運動。它的六個運動軸包括線性和旋轉運動，線性軸的速度可達200毫米/秒，旋轉軸提供高達180度/秒的旋轉速度。該運動單元的設計旨在以非接觸方式提供精確和受控的運動,從而實現最大程度的產品保護和可靠性。ATM-305的自動晶圓轉換機與機械臂完全集成，提供可靠和高效的晶圓送入和送出加工室或檢查室。其雙向晶片傳輸能力確保了晶片的安全可靠的輸送，不需要托盤或輸送機。集成的自動剪切工具可確保晶片在傳輸操作過程中保持牢固連接,從而使產品順利、安全地交付。BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-305的集成控制資產提供了對所有機器人和傳輸組件的完整控制和操作，並允許對晶圓處理過程進行輕松、精確的控制。它的開放式體系結構設計允許快速、輕松地與外部系統集成,從而確保快速安裝和可靠的操作。此外,BROOKS ATM-305還提供各種可定制的功能,如可編程運動參數、自動輸入/輸出功能以及與外部視覺系統的接口。總體而言,PRI AUTOMATION ATM-305 Wafer Handler為晶圓和其他高精度零件的運輸和處理提供了可靠高效的解決方案。其先進的運動能力、健壯的輸送模型、集成的控制設備相結合，使其成為半導體、太陽能和其他高精度制造作業的完美解決方案。