二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE #9211143 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE是為半導體制造環境設計的晶圓處理器。它是各種尺寸晶圓載波自動裝卸的理想解決方案。這個晶圓處理程序擁有一個令人印象深刻的機器人手柄，能夠在負載端口和加工工具之間快速準確地傳輸晶圓。它具有兩個獨立的機械臂，由伺服電機驅動，以實現平滑和精確的運動。BROOKS ATM-407-2-S-CE配備了一系列安全功能來保護操作員、工具和設備。先進的安全聯鎖設備不允許機器人手臂移動，除非負載端口和模具上的驗證傳感器經過驗證並處於適當位置。它還有一個全面的故障檢測系統，可以檢測錯誤，在損壞發生前立即關閉設備。PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE的高速機器人驅動器每小時最多可處理150個晶圓。柔性晶片處理機設計可容納單晶片和集群，每平方英寸最多16個。它配備了一個模具工具，使多個標準晶片持有者能夠在同一個安裝中使用一個簡單的轉換。這個晶圓處理程序包含一個可輕松集成的Cognex視覺資產，從而能夠快速準確地識別晶圓。視覺模型能準確檢測晶片在裝卸過程中的劃痕、碎屑等損傷。由於其無刷伺服電機和堅固的機械設計，ATM-407-2-S-CE晶圓處理器非常節能。其額定功率僅為370瓦，一天最多可運行24小時。晶圓處理程序具有IP43的額定值，是許多工業應用的絕佳選擇。總體而言,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407-2-S-CE是一款功能強大且可靠的晶圓處理器,非常適合大容量半導體生產環境。晶圓處理程序具有易於使用的特性和高速機器人驅動器,可幫助提高吞吐量和降低成本。