二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE #9209888 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler是一個高性能、業界領先的自動化傳輸模塊,用於在需要極端溫度控制穩定性的應用中精確處理晶片。晶圓處理器的設計可容納200毫米至200毫米不等的晶圓尺寸，並可調節以容納各種晶圓直徑和高度。該裝置能夠提供從源到加工工具的直接通路，具有改進晶圓控制的托盤索引機制。該裝置還包括一個符合人體工程學的設計，其開口可調節，以協助晶片的裝卸。BROOKS ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler能夠在垂直和水平模式下運行,提供了與各種工藝工具的最佳兼容性。該單元還采用主動堆叠技術,在大批量生產運行過程中優化晶圓管理。這使得晶片處理程序能夠在不犧牲晶片完整性的情況下減少周期時間並提高生產能力。PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE設計用於將腔室溫度保持在1°C或更高±,在晶圓加工過程中提供極其穩定的條件。該單元具有高級控制體系結構,可以對其進行編程以滿足特定的晶圓處理要求。這是通過易於調節的工藝參數來實現的,例如晶圓速度、時間延遲以及多達16種可配置配方。這樣就可以對晶圓處理程序進行精確編程,以滿足客戶定義的生產要求,從驗證運行到高直通生產運行。ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler還包括前端監視和診斷功能,例如內置警報、錯誤代碼和數據日誌記錄。這有助於確保一致的晶片完整性,以及改進的正常運行時間和簡化的維護。該裝置在晶片定心和卸載方面也具有很高的精度，提供了可重復的工藝產量。總體而言,BROOKS/PRI AUTOMATION ATM-407B-2-S-CE Wafer Handler是一個可靠而堅固的晶圓處理模塊,可在具有極端溫度控制穩定性的加工工具中精確處理晶圓。該設備的可調寬度、高度和旋轉確保它與各種晶圓尺寸兼容,而其可調工藝參數使客戶能夠根據自己的特定生產要求對其進行微調。先進的控制體系結構、內置的監控和診斷以及高精度的定心和加載功能使BROOKS ATM-407B-2-S-CE現代工藝技術應用的絕佳選擇。