二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATM #9263033 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ATM是為半導體晶圓製造應用而設計的自動化晶圓處理器。它是一種通用的機器人設備，可用於快速、準確地拾取、運輸和放置晶片。該系統以工業機械臂為基礎，利用一套集成傳感器來識別和跟蹤晶圓。ARM由一系列相連的臂和執行器組成，旨在提供精確的晶圓處理任務所需的垂直、水平和旋轉運動。機械手安裝在可水平調節的高度底座上,便於訪問和放置。手臂由Allen-Bradley powerFlex驅動單元驅動，帶有高扭矩伺服電機，提供平滑精確的運動。BROOKS ATM還包括集成到機器人手臂的精密視覺機，以提供晶圓的實時識別和定位。此工具可以檢測晶圓邊和方向,以提供準確的拾取和放置,而無需手動指定坐標。為了提高晶片放置精度和降低模具成本，該資產還采用了先進的力反饋技術來測量晶片在轉移過程中對模具的接觸力。這樣可以確保機器人在將每個晶片放置到刀具上時考慮到它們的靈敏度。除了半自動晶片處理外，該型號還配備了自動化的工藝工具和工藝控制軟件。它能夠執行各種工藝步驟，如濺射、擴散、蝕刻和稀釋。該軟件還可用於記錄與晶圓處理相關的數據，並創建具有完全追蹤能力的批量報告。PRI AUTOMATION ATM是一個功能強大、用途廣泛的工具，用於大容量晶圓制造應用。它專為工廠集成而設計,可針對各種客戶需求進行編程。它堅固、可靠且高度可靠,為自動晶圓處理提供了低成本的解決方案。