二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ATR-7 #9286633 待售

BROOKS/PRI BROOKS/PRI AUTOMATATION ATR-7 Automatic Transfer Robot （ATR）是一種全自動晶圓處理器，設計用於半導體處理系統。它基於PRI AUTOMATION專有伺服運動技術，旨在與多種OEM處理系統接口。BROOKS ATR-7能夠將晶片從一臺設備轉移到另一臺設備，幾乎沒有人工幹預。PRI AUTOMATION ATR-7是一臺小巧輕巧的機器,高僅30英寸,寬17英寸.其主機由飛機品質的鋁和不銹鋼部件構成，其機蓋由耐腐蝕鋁制成。系統的所有部件都安裝在單個基本模塊上,以便於安裝和可移植性。ATR-7裝有兩個晶圓托盤，每個托盤最多可容納八個200毫米晶圓。托盤裝有晶片,然後放在網格上,頂部托盤連接到驅動器電纜。柵格由低慣性直流伺服電動機驅動，可輕松控制機組運動。BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7由於其先進的設計和高品質的元件，也非常可靠。它包括一臺雙傳感器計算機,用於監視操作並在檢測到錯誤時停止刀具。它還有一個集成的供氣資產，用於控制氣體流向晶片，以實現一致的、可重復的過程。BROOKS ATR-7的設計具有靈活性,它具有多種功能,可與各種處理系統連接。它的通信端口可以直接連接到幾種流行的型號，以及PC或控制器。PRI AUTOMATION ATR-7還允許將控制參數、坐標調整和各種輸出命令直接編程到機器中。除了令人印象深刻的功能外,BROOKS/PRI AUTOMATION/PRI ATR-7易於使用,並具有用戶友好的界面。它可以很容易地連接到現有的晶圓處理系統，而且得益於其直觀的用戶界面，操作員可以快速學習如何使用機器。BROOKS/PRI AUTOMATION ATR-7具有可靠性、靈活性和用戶友好的設計,是任何需要自動晶片處理的實驗室或工業環境的絕佳選擇。