二手 BROOKS / PRI AUTOMATION / EQUIPE ATM 407-1-S #9195685 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION/EQUIPE ATM 407-1-S晶圓處理程序是一種高度先進的機器人自動化系統,旨在移動、操縱和檢查半導體晶圓。它用於潔凈室環境中的精密制造過程。BROOKS/PRI處理程序是一個模塊化系統,可針對個別流程需求進行自訂。它包括一個主板、多個可運輸的晶片盒式磁帶、一個晶片穿梭機和一個檢查和檢測站。大型機由一個底架、一個操作員接口、一個電源、氣動運動元件和伺服馬達驅動器組成。可運輸的晶片盒式磁帶提供了一種將晶片從一個加工站運輸到另一個加工站的自動化手段。它們允許將晶片快速、準確和可重復的加載和卸載到主機中。它們還配備了條形碼閱讀器,以提高數據完整性。晶圓穿梭器允許晶圓從一個加工站運輸到主機內的另一個加工站。航天飛機是氣動驅動的，可以為任意數量的晶圓定制配置。它是為高精度和可重復性與最小的振動，確保高質量的晶圓處理設計。檢測站用於檢測和測量晶片的任何缺陷。它配備了先進的成像和光傳感器，可以精確測量晶片。傳感器能準確檢測晶圓缺陷，確定任何不規則性或汙染。BROOKS ATM 407-1-S晶片處理程序是一個高度先進、可定制的機器人自動化系統,旨在提供高精度晶片處理和檢查,能夠滿足當今現代潔凈室環境中最苛刻的生產需求。它具有模塊化結構、通用應用和堅固的結構,是最具挑戰性的半導體制造過程的理想自動化解決方案。