二手 BROOKS / PRI AUTOMATION Ergo #128314 待售

ID: 128314
晶圓大小: 8"
Loadports, 8", p/n 002-8700-02.
BROOKS/PRI AUTOMATION ERGO晶片處理器是一種最先進的半自動晶片處理解決方案,設計用於半導體製造設施。它是一種完全可編程的機器人設備,能夠執行各種晶片處理操作,如運輸、預對準以及將晶片裝卸到加工設備上。BROOKS Ergo旨在提供高精度,同時仍能實現有效的周期時間。該系統配備了一系列可調元件,可根據客戶的具體要求進行配置,可容納直徑達300毫米的晶片。PRI AUTOMATION ERGO晶圓處理器利用堅固可靠的伺服控制機械臂,由BROOKS高級運動控制器提供動力。機器人的運動由集成視覺單元監控,機器的可編程傳感器跟蹤機器人的方向和精確定位。Ergo晶圓處理程序旨在最大程度地減少錯誤的拾取和拒絕,與手動加載/卸載相比,它提供了更高的精度級別。該工具還采用圓滑的設計,便於清潔和維護,而占地面積小,即使在空間最有限的環境中也能安裝。BROOKS/PRI AUTOMATION ERGO晶圓處理程序的設計提供了最大的準確性和可靠性。其運動控制器能夠在循環過程中持續保持較高的準確度,保證可重復性能的更高可預測性。該資產配備了高級編程和自動化功能,使其能夠處理各種晶圓處理方案,而其強大可靠的動力總成有助於最大限度地減少整個生命周期中的停機時間。此外,BROOKS Ergo晶圓處理程序為操作員提供了增強的安全功能。其兩級安全監測模型旨在檢測潛在問題和警報操作員,而其鉸鏈晶片卡盤和堅固的饋線臂旨在減輕潛在的傷害。PRI AUTOMATION ERGO晶圓處理程序包括多種通信協議,可輕松集成到現有的流程中,而其模塊化設計允許將來進行升級和自定義。Ergo晶圓處理器是滿足您的半導體生產需求的完美解決方案。憑借其無與倫比的精確度、可靠性和安全性組合,您一定能最大限度地提高生產流程的產量。
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