二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293 #9256427 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293是為半導體工業設計的自動化晶圓處理設備。它能夠處理直徑不超過200毫米的晶片，以及厚度不超過25毫米的基板。它是為具有SMIF負載可能性的全敞篷框架（OTF）半自動材料輸入/材料輸出（MIMO）系統而設計的。BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293實現了高效、精確的晶片傳輸,提供了比手動、手持晶片處理方法更高的效率,並且為載荷端口內外的晶片提供了更快、更自動化的移動方式。PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293配備晶圓處理機器人、機動化舞臺以及通用控制、運動和軟件元素。晶圓處理機器人技術旨在提供可靠可靠的晶圓傳遞、存儲和檢索。它由觸摸面板控制，便於操作和維護，同時提供必要的晶片往返於加載端口。機動化臺階利用集成的運動控制元件，允許高度精確的載荷和卸載運動。該級還利用負載端口連接接口，使晶片能夠有效地進出插座。ESC-204T-OTF-SMIF-S293還包括一個SORDIN控制器,它使系統能夠全自動並能夠快速跟蹤數據驅動的晶圓處理。除了機器人和分期組件，BROOKS/PRI AUTOMATION ESC-204T-OTF-SMIF-S293還包含軟件元素，如SORDIN控制單元，以及用於晶片裝卸的自動化接口。此自動化接口為RS-232,在與外部負載端口機接口時提供了一種方便的通信方式。BROOKS ESC-204T-OTF-SMIF-S293為半自動MIMO系統提供了先進的多功能性,從而能夠以更高的精度和可重復性高效處理晶片。它使用機器人技術、運動控制元件和軟件元件,使其成為精密晶圓處理的理想選擇,尤其是在半導體工業中。