二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ESC 212 #9194536 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ESC 212晶圓處理器是一種全自動晶圓處理系統，設計用於沈積和處理半導體。晶圓處理器可以處理直徑達6英寸的晶圓，並包含多種元件，例如晶圓組、製程模組、晶圓升程模組和運輸模組。晶片組可以在片組之間運輸晶片，也能夠將晶片單選成單獨的片斷，從而允許更大的表面積與基板接觸。工藝模塊允許各種工藝自動化，如化學氣相沈積、濺射、CMP和光刻，其設計目的是最大限度地提高吞吐量，並將工藝成本降至最低。晶圓提升模組方便晶圓從傳輸模組轉移到製程模組，也可以夾緊晶圓幀，防止在傳輸過程中損壞易碎晶圓。運輸模塊提供了必要的運動控制，以便在甲板之間以及從晶片甲板到晶片提升模塊之間進行晶片傳輸。晶圓處理器還包括防止未經授權人員進入晶圓處理器內部的安全聯鎖，以及機器狀態驗證和故障定位的診斷軟件。此外，該系統具有功率效率設計，並采用了平衡技術來降低能耗。總而言之，BROOKS ESC 212晶圓處理程序是一種高效可靠的大容量半導體加工操作工具。