二手 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #128309 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express是一款高端自動化晶圓處理設備，旨在提高半導體制造行業中光刻工藝的生產吞吐量。BROOKS FAB Express是一種多軸機械臂，運輸和定位八英寸晶圓，水平和垂直精度為13.7微米。它具有± 7.9微米的靜止位置精度，可以處理密密麻麻地裝在卡帶塢上和卡帶塢上的晶片。PRI AUTOMATION FAB Express有自己的兩軸端效應器，在拾取或設置晶圓時有17微秒的沈降時間。該系統有一個板載高速總線，將其連接到一個光刻步進器、它的主機計算機和其他機器元件。FAB Express能夠在其總線上存儲多達5000個不同的位置，並且每秒最多可以執行200次這些動作。它還有一個可移動的操作員控制面板，用戶可以在其中手動輸入命令或新的晶圓坐標。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express還具有碰撞和產品識別功能,一個集成的視覺單元,用於捕獲傳輸中晶圓上的圖像和反饋,以及一個條形碼讀取器,用於檢測和處理每個盒式磁帶。BROOKS FAB Express的最大傳輸速度為3.0 m/s，最大加速度為5.0 G。它還采用模塊化設計，其組件可以分離並直接連接到控制機器。這樣就無需將程序和路徑重新加載到控制工具中,並簡化了安裝和故障排除,從而提高了效率。PRI AUTOMATION FAB Express還配備了安全系統。該資產除了被設計為滿足OSHA要求外，還符合歐洲標準ENORM 14971和CE/UL安全標準。這確保了FAB Express對工人和環境安全。總之，BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express是一種全自動晶圓處理器模型，專門設計用於提高半導體光刻工藝的生產吞吐量和效率。這種設備可靠、高效、用途廣泛。BROOKS FAB Express也符合最高安全要求，並具有靈活的功能以適應任何制造設施的要求。