二手 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9205922 待售
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單擊可縮放
ID: 9205922
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Loadport, 12"
Accepts up to (3) load ports
P/N: 134081
BROOKS Robot modules:
Wafer presenter / Handling robot with (2) 300mm vacuum-holding wafer arms
Series 8 robot controller
Robot track: Y Axis
Inligner wafer aligner
Teaching pendant
2008 vintage.
BROOKS/PRIA AUTOMATION FAB Express晶圓處理器是一款高度先進的機器人設備，旨在滿足半導體和電子工業的苛刻需求。BROOKS FAB Express能夠處理各種晶圓尺寸,尺寸從2英寸到76mm,精度± 3微米,可用於水平或垂直方向。其先進的微處理器控制系統允許進程之間快速準確的晶圓傳輸，無需手動移動晶圓，確保每個晶圓精確對齊。PRI AUTOMATION FAB Express配備了多種行業標準格式的多功能負載端口，提供了適應各種晶圓配置的靈活性。這樣可以實現快速和通用的操作,從而最大程度地減少在進程之間移動晶片時的停機時間。此外，FAB Express包括一個高度先進的遠景單元，能夠在多個站之間安全地精確放置和運輸晶片。此外，晶片處理程序還具有直觀和用戶友好的圖形用戶界面，可以快速、方便地設置、配置和監控機器。它的前面板監視器提供有關流程狀態的實時信息,以及任何可能需要註意的警報的可視指示燈。BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express還得到一個綜合工具庫的支持,該庫提供高級自動化功能,以進一步增強其功能。此庫包括集成的配方管理工具、安全的多通道傳輸功能、工具監控等。總體而言，BROOKS FAB Express晶片處理程序是一種高度先進和可靠的機器人資產，在多個進程之間傳輸晶片時提供精確控制。其先進的視覺模型、直觀的用戶界面、通用的負載端口和全面的工具庫,使其成為任何要求苛刻的晶圓處理應用程序的理想選擇。
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