二手 BROOKS / PRI AUTOMATION FAB Express #9399341 待售

ID: 9399341
Loadport Part number: 109752-34.
BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express是一款全自動晶圓處理器,旨在滿足半導體制造和研究行業的需求。BROOKS FAB Express機器人設備提供了一種經濟高效的解決方案,用於處理、裝載、卸載和將晶片從一個設備轉移到另一個設備。該系統以堅固可靠的平臺為基礎,具有不銹鋼結構、高扭矩電機、自清潔導線、串行通信和晶圓精密對準先進視覺技術。PRI AUTOMATION FAB Express配備了可編程的機械臂,能夠將晶片定位在最大+/-7微米精度範圍內。機械臂可以在360度旋轉範圍內移動晶片,從而在晶片處理操作中具有很高的重復性和準確性。該機器人在各種生產環境中提供一致的性能、穩健的操作和更高的生產率。FAB Express利用先進的視覺技術,允許晶圓在轉移前精確對準。這個單元提供了改進的晶圓錯誤的檢測和識別,同時也降低了處理損壞的風險。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION FAB Express提供了完整的互鎖保護,並且可以集成到化學和危險材料處理操作中。為了便於使用,可以將BROOKS FAB Express機器人機放置在遠程位置,並使用單個控制點來編程和管理整個工具的操作範圍。該資產帶有用戶友好的圖形用戶界面(GUI),用於控制和監視晶圓處理操作。應用程序接口可以通過手持遙控單元或通過以太網電纜從連接到模型的計算機訪問。PRI AUTOMATION FAB Express是清潔室環境的理想機器,因為它具有低成本、易於使用的功能和安全的操作。該設備確保了晶片處理的可靠和高效解決方案,從裝卸、轉移到清潔、堆叠和分類。此外,先進的視覺技術包括在系統中,允許優越的性能和精確對準晶圓。憑借這些全面可靠的功能,FAB Express是在潔凈室設置中處理和傳輸晶片的絕佳選擇。
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