二手 BROOKS / PRI AUTOMATION Fixload 25 #9392799 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25是一款高端、全自動的晶圓處理程序。它結合了高速、工業級的機器人技術，使矽片快速準確地加載到反應堆、熔爐以及蝕刻和沈積室等其他晶片相關設備上，同時最大限度地降低了損壞風險。BROOKS Fixload 25能夠快速準確地傳輸和加載各種晶圓尺寸、形狀和材料,每小時最多可生成和加載30個晶圓/工藝。它具有兩個載荷接觸點和三個晶圓位置驗證方法：通過照相機、光感和機械接觸感測。此外,設備會自動補償晶圓變化或未對準所引起的任何運動,從而防止晶圓損壞。PRI AUTOMATION Fixload 25包括一個專用的視覺系統相機，它使用高清成像來精確檢測和驗證晶圓的位置、大小和形狀。這消除了人工幹預的需要，在晶圓定位精度方面提供了高度的可靠性。視覺單元還能夠提供增強的晶圓表面檢測功能，包括粒子缺陷檢測。Fixload 25還具有多相模塊化機器人平臺。這樣就可以實現高度靈活的工作環境,從而實現快速的產品轉換和即時的計算機配置更改。該機器還具有用戶友好的界面和簡單的點擊命令，以便快速、輕松地執行加載例程。該工具具有內置的LoadCell重量測量資產,可用於晶圓重量測量,並通過過度堆叠防止晶圓損壞。該模型還提供了對晶片加載力和位置的實時控制和反饋，從而優化了工藝參數。BROOKS/PRI AUTOMATION Fixload 25專為工業用途而設計,並獲得CE認證,可集成到現有生產線中。這使得它成為大容量晶片加載任務的理想解決方案,從而提高了生產率並降低了成本。