二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #121470 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是為晶片處理而創建的單個晶片處理程序，如從工藝室裝卸晶片，往返於檢查系統的晶片，以及在不同刀具模塊之間傳輸晶片幀。BROOKS MTR 5是一個以機器人為基礎的系統，依靠一系列的機動化舞臺，讓它能夠像人的手臂一樣一時一刻地移動，以執行其預定的功能。它的多軸運動使得它特別適合於在靈活定義的空間中執行多個操作。它使用了幾種尖端技術,例如線性驅動器和各種傳感器,以確保精確、可靠的運動。它的運動控制器還允許動態、可靠的操作。PRI AUTOMATION MTR5被設計為與各種晶圓幀兼容，並且可以處理多達五種不同的卡帶尺寸，用於快速晶圓分類、加載和卸載。由於其模塊化設計，可以根據需要添加或刪除各種不同的功能。這包括熱插拔盒式磁帶、多個站臺、自動換檔功能和雙夾持器操作。用戶界面使得MTR 5特別容易使用，允許用戶設置不同的操作和序列，並具有不同的控制級別。還可以對自定義序列進行編程,從而允許用戶更好地控制特定操作的執行方式。機器人的控制器還允許用戶配置其運動的速度和加速度，並包括一系列可用於快速識別和解決晶圓處理操作問題的監控和故障排除工具。MTR5還具有一些附加功能,可確保晶圓的安全可靠處理。這些包括機載粒子控制、快速關機操作員和控制、E-Stop傳感器和內置碰撞檢測。該系統還提供工具安全監控,可以檢測工具何時損壞或接近使用壽命。總體而言,BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5是一款先進、可靠的晶圓處理程序,旨在簡化晶圓的處理和傳輸過程。它的模塊化設計、用戶友好的界面和全面的安全監控系統確保它能夠適應各種生產要求和應用。