二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #178989 待售
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ID: 178989
Vacuum robot and arm set
Arm set configured with 8" wafer end-effectors
(1) end-effector: Kalrez pads, stainess steel pads for >300C hot wafer handling.
BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是一款高速、高精度的晶圓處理程序,旨在協調晶圓的裝載、測試和運輸操作。它具有直觀的操作員界面、健壯的伺服控制運動以及許多其他功能。BROOKS MTR 5采用了全自動的模具采摘設備,用於快速準確的晶圓處理,能夠達到高達每分鐘100件的速度。該系統非常精確,允許0.3mm+/-的緊密公差。選擇器運動采用伺服控制,使用兩個獨立的正向高精度橫輥和一個中央支撐板。這種布置提供了高度的靈活性和精確度,以及在處理晶片時更大的穩定性。PRI AUTOMATION MTR5包括許多自動功能,用於控制和監視晶片的加載、測試和運輸。這些包括傳感器控制的模具分類、自適應模具放置、雙位置對準、選擇性模具初始化和自動進料。每個操作都由配備了基於PC的操作單元和EtherNet/IP診斷模塊的Allen Bradley控件監控。這允許實時性能反饋和快速故障檢測。MTR5設計堅固可靠。它的組件經過精心設計,可提供最大的正常運行時間,並且需要最少的維護。整個機器構建在堅固、粉末塗層的擠壓鋁制框架上,不僅不需要接地,還提供了更高的穩定性和支撐。皮帶傳動工具采用高等級鋼制造,經熱處理可達到1200 °F,以提高耐用性和可靠性。此外,BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5還配備了強大而高效的空氣資產,用於處理和驅動功能。這種高效、安靜的空氣模型進一步降低了維護成本,使BROOKS MTR5極具成本效益。最後,設備配備了先進的安全聯鎖裝置,防止與模具處理程序意外接觸,保護操作員和產品。PRI AUTOMATION MTR 5是一個提供速度、精度、安全性和可靠性的多合一晶圓處理系統。它的計算機化控制、直觀的用戶界面和高級安全功能使其成為任何晶片裝載、測試或運輸操作的理想選擇。
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