二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064562 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是一種獨一無二的晶片處理程序,專為需要保證晶片對準、完美真空保持和快速晶片交換的高精度應用而設計。它具有完全集成的5軸萬向節式平臺，旨在與晶圓計量和光學系統接口。這種機器人設備提供步進和重復的能力，傾斜和擡高，與各種應用的廣泛的配置。它利用其專利對準棱鏡和3維視覺系統，確保任何類型晶片的準確和可重復放置。BROOKS MTR5晶片處理程序由三個主要組件組成：機器人、晶片支架和真空室。該機器人既具有高度可重復性，又具有精確、精確的運動控制運動能力。它的最大速度高達每秒60°，而其位置精度在40微米以內。機器人配備了廣泛的外部配件，如ESD防護、氣動、光學傳感器、環境控制等。PRI AUTOMATION MTR5的真空處理單元（VHS）包含一個用於模具拾取和對準的電動雙區域真空室。VHS能夠在距離晶圓中心0.5mm半徑的範圍內實現精確旋轉和模具對準。進氣室內有幾個噴嘴，針對單個晶圓尺寸進行了優化，以確保最佳的吸力。晶圓支架在運輸過程中保持晶圓，可以根據任何應用需求進行定制。此外，晶圓持有者可以快速改變不同的任務。最後,BROOKS MTR5配備了S6邊緣控制器,具有完全集成的驅動器/控制機,包括序列編程、HMI和用戶界面以及在線過程控制。人性化的觸摸屏大大簡化了機器人的操作，方便了平穩的操作和過程控制。