二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9064565 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是一種晶圓處理器，用於光刻和薄膜沈積過程。BROOKS MTR 5是一種精密儀器，允許精確定位和傳遞單個或多個晶圓。PRI AUTOMATION MTR5可以處理直徑最大為5英寸、厚度最大為0.3英寸的晶片，同時最多可處理三個晶片。PRI AUTOMATION MTR 5建立在開放式框架架構上，並有嵌入式操作設備。系統由控制器單元、輸入接口、低級控制模塊和電機驅動程序組成。這些組件中的每一個都設計成彼此交互,並為設備提供必要的功能。控制單元負責BROOKS MTR5的運行。它由四軸操縱桿控制器、晶圓X和Y表以及方向盤組成。來自控制器的輸入用於控制晶圓表的移動。輸入界面是帶有鍵盤和軌跡球的觸摸屏界面。這允許用戶設置自動進程並更改計算機的參數。控制器還從低級控制模塊接收輸入，該模塊負責晶圓處理程序的實時控制。該模塊可用於指定晶圓尺寸、晶圓運動速度、晶圓處理夾緊力、位置精度、晶圓傳輸速度和晶圓處理時序精度等參數。電機驅動程序是工具的最後一塊，是實際移動晶片並放置其進行處理的單元。它由步進電機、數字軸控制器和驅動帶組成。數字軸控制器負責電機的實時控制，步進電機用於晶圓的精確定位和運動。傳動帶負責沿所需路徑移動晶片。MTR 5是一種高性能資產,提供高精度的晶圓定位和傳輸。它被設計為允許高速和精確晶圓傳輸在短距離內，使其成為理想的半導體生產。該模型能夠同時支持多個晶片,並提供必要的控制和安全檢查,以確保晶片在生產過程中保持安全處理。BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5是一種可靠高效的設備,旨在提供晶圓處理的最大效率和吞吐量。