二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9111006 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5是一種機器人晶片處理程序，允許用戶執行全方位的晶片處理操作。該處理程序適用於25mm至300 mm的晶圓直徑和最大10mm的晶圓厚度。該設備采用高端CCD（電荷耦合器件）視覺系統，結合機械臂，可實現晶圓的精確對準和定位。該處理程序可與PRI或BROOKS Ambassador前端處理器集成,並具有附加模塊的選項。對於需要高級模式識別的操作,可以添加晶圓對齊設備（WAA）模塊。本模塊專為識別、檢查和處理大多數晶片上存在的各種對齊標記而設計。設備內的輸送帶在機器人處理程序的產品區域內移動晶片，在需要的地方準確定位晶片。運輸單元可以達到600毫米/秒的速度，從而在短時間內實現高傳輸。輸送機還具有抗靜電功能，有助於保護晶片免受不利的電影響。處理程序使用單個大幅面攝像機,為最終用戶提供詳細的圖像。此圖像用於識別模式對齊標記或讀取條形碼。這在手動檢查過程中節省了寶貴的時間,因為用戶不再需要目視檢查晶片以確保定位和定向。處理程序的控制機由一臺Beckhoff PLC組成，周圍有4臺觸摸屏顯示器。用戶界面是直觀的，為用戶提供了廣泛的參數來自定義處理程序的行為。可以設置操作條件,使機器人運動保持在定制的範圍內。PROGRAM可以存儲在內存中,從而使用戶能夠快速訪問和運行程序以進行普通晶圓處理操作。此外，BROOKS MTR 5也可以直接連接到其他設備和控制器的網絡，允許裝置和外部來源之間的快速dat交換和通訊。這樣就實現了高效的數據共享和工具監控。加上強大的技術能力，很容易看出為什麼PRI AUTOMATION MTR5被視為領先的自動化晶圓處理程序之一。