二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MTR 5 #9113603 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MTR 5晶圓處理器是一種用於半導體、磁盤驅動器和其他相關行業的高精度設備。它設計用於在工藝室之間精確、快速地移動和定位矽晶片。它設有一個檢查窗口，允許操作員在晶片進入腔室前仔細檢查其對準情況。BROOKS MTR 5使用多點觸控器操作，該控制器包括3 D旋轉撥盤和電容式觸控滑塊控制。它包括兩個精確的線性導軌和一個具有高重復性和位置精度的預對準設備。這些功能加上自動化的操作員控制系統,使設備能夠將晶片精確、一致地移動到加工室中,從而提高吞吐量並消除人工處理錯誤造成的停機時間。PRI AUTOMATION MTR5可以用多達32個不同的晶圓對準高度和拾取點進行編程，使其在處理多個晶圓尺寸時具有極大的靈活性。最大晶圓直徑200毫米，晶圓平臺尺寸305毫米。晶圓處理器可以與其他MTR系列晶圓製程配件結合，創造出功能很強的晶圓處理和製程工具單元。BROOKS/PRI AUTOMATION MTR5設計用於晶圓傳輸和單個單元中的過程處理。它包括晶片臂、移動式機器人和機器控制，它們都能配合將晶片精確地沈積到加工室內。晶圓的拾取和傳送是通過一個負載端口完成的，並用一個偏心鎖定工具固定。PRI AUTOMATION MTR 5配備了可編程真空泵，通過在晶片到達裝載端口之前方便地預先吸塵來減少處理時間。BROOKS MTR5具有獨特的自動滑動設計,在維護過程中還提供了快速、方便地進入腔室的功能。為了確保更高級別的安全,MTR5包括一個位於中心位置的安全開關,用於停止晶圓處理資產中的所有機器人。此附加功能以安全、高效的方式提高了生產效率和處理能力。這種自動化的操作員輔助機器人晶片處理程序設計為允許無故障操作的過程室與最小操作員的影響。