二手 BROOKS / PRI AUTOMATION MX 600 #79344 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600是一種晶圓處理解決方案，專為半導體制造、光刻和航空航天元件等超清潔生產應用而設計。BROOKS MX 600甚至能夠處理最脆弱的晶片,以盡可能最清潔和最有效的方式提供準確和安全的晶片基板運輸。PRI AUTOMATION MX 600晶片處理程序旨在為通常用於制造和光刻工藝的晶片基板提供高度一致的傳輸解決方案。這種集成設備的設計目的是減少汙染，同時減少操作過程中的運動和對準誤差。MX 600經過精心設計,可提供出色的重復性、準確性和性能,使其成為依靠精確處理操作的生產應用程序的理想解決方案。BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600晶片處理程序由上下晶片傳輸級、上下傳輸級抓取器、上下傳輸臂、壓板和高度調節機構組成。它具有一個基於矢量的進給系統，可以處理不同大小的晶片基板，在傳輸階段大幅減少滑移和顫動。BROOKS MX 600還具有雙獨立高速伺服驅動器,可實現快速、精確的操作、優化效率和最大限度地減少停機時間。除了強大的機械特性外,PRI AUTOMATION MX 600還提供多種集成的電子特性,可確保準確性和優化性能。MX 600具有絕對編碼器，允許在驅動器和傳輸臂之間傳輸精確的位置信息。這樣可以準確地確定晶片沿運輸平面的位置。另外的集成特性包括自動晶圓定心、晶圓誤差檢測以及與BROOKS真空接入單元（VAS）的集成，以利於優化粒子控制。BROOKS/PRI AUTOMATION MX 600經過優化,可用於超清潔生產應用程序。所有裸露的表面都被設計為提供最大的粒子控制，其機械運動與環境隔離，以確保操作過程中對環境的影響最小。BROOKS MX 600能夠執行六軸處理操作,使其具有高度的通用性,並允許其集成到各種生產系統中。它還通過了CE和RoHS認證,確保產品符合所有適用的安全和環境法規。總體而言,PRI AUTOMATION MX 600晶片處理程序是超清潔生產應用中晶片處理的高級解決方案。它能夠提供精確和一致的處理性能,並且可以顯著減少運輸階段的汙染、運動和對準錯誤。MX 600是依靠脆弱晶片基板可靠轉移的生產工藝的理想機器。