二手 BROOKS / PRI AUTOMATION PRE-300 #293795355 待售
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BROOKS/PRI AUTOMATION PRE-300是一種晶圓處理程序,設計用於清潔室自動化。它通常用於在半導體晶片上傳輸、對齊和運行蝕刻、沈積和擴散等過程。這種晶圓處理器是一種精密設備,可以可靠地處理直徑高達三英寸的剛性微電子晶圓。該裝置配有集成視覺系統和激光對準系統,以確保晶圓的正確定位和精確定位。這個晶片處理程序是用不銹鋼框架建造的,裏面裝有晶片的裝卸機構。三軸機械臂安裝在框架上,可以沿徑向和線性方向移動。手臂的端部效應器配有真空卡盤,可抓住晶片安全移動,同時其集成視覺系統確保正確定位和對準。該waferhandler裝有一系列傳感器來監視其操作參數。這些包括溫度、壓力和振動傳感器。收集和分析這些數據以監視系統的所有性能。整個系統由集成視覺系統和提供高度自動化的專有軟件套件控制。BROOKS PRE-300專為潔凈室操作而設計,旨在最大限度地減少粒子產生、灰塵和其他潛在汙染物。符合CE標準,符合所有相關安全標準。PRI自動化PRE-300是一種可靠高效的晶圓處理程序.它具有精確對齊和運行晶片的能力,是任何制造設施的絕佳補充。它是尋找能夠處理各種晶圓尺寸的精密晶圓處理器的操作員的理想選擇。
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