二手 BROOKS / PRI AUTOMATION VCE 6 #9121532 待售

BROOKS/PRIA AUTOMATION VCE 6是一種高性能晶圓處理設備，旨在簡化和增強整個晶圓尺寸變化過程。它提供了一個緊湊的設計，占用最小的地板空間，並配備了先進的安全功能，以保護人員和工具。BROOKS VCE 6系統設計用於半導體制造設施，可容納8「-12」晶片或6「-9」晶片，兼容晶片清洗、背面處理和光刻系統。PRI AUTOMATION VCE-6由一個主基站、一個11位磁盤型運輸機和一個升降機組件組成。主基站允許用戶快速配置單元，以適應不同的晶圓大小和方向。它設有一個控制面板，包括一個用於操作員接口和指令的顯示器，並包含連接到其他自動化設備和服務的輸入和輸出。運輸機和升降機組件連接在一起，使操作員能夠自動將晶片移動到升降機上，抓住晶片，並放置到磁盤上。升降機組件能夠垂直運輸以及水平晶片定位和傾斜角度調整。它還包含一個用於改變晶圓角的倒置電動機和一個用於控制晶圓運動的精密電動機。PRI AUTOMATION VCE 6還包含許多先進的安全功能，如檢測運輸機內部堵塞的防堵塞機、位於基站和運輸機內部檢測潛在碰撞的傳感器、萬一晶圓意外脫落的自動脫落傳感器，以及最大限度地減少外部灰塵和碎屑的內部空氣幕。此外，該工具還配備了自動晶圓感應資產，用於精確檢測晶圓位置。VCE 6設計直觀且用戶友好。它包括一個易於使用和直觀的圖形用戶界面，具有用於顯示晶圓映射的觸摸屏功能，並提供每個晶圓的詳細信息。它還包括內置的用戶管理和密碼保護,以及研討會集成和數據記錄功能。所有這些特點結合其先進的安全特性，使VCE-6成為安全高效的半導體制造的理想選擇。