二手 BROOKS / PRI AUTOMATION ZBot #9162072 待售

BROOKS/PRI AUTOMATION ZBot是一款高性能、全自動的晶圓處理程序。它采用單一集成平臺,可減少工程時間和工作量,從而提高設備吞吐量,同時降低材料成本。集成到BROOKS ZBot中的是一個完全由計算機驅動的晶圓傳輸模塊，它通過高度精確的機器人定位和真空拾取在工作站之間精確地移動晶圓。晶圓處理程序可根據最終用戶的需要進行自定義,包括在處理流程中添加其他步驟。以滿足最終用戶的需求。這允許用戶創建或修改現有的處理工作流,以最大限度地提高效率和產量。PRI AUTOMATION ZBot能夠運行各種過程，如晶圓清洗、蝕刻、沈積、幹濕氧化和退火。ZBot還使用戶能夠利用開放訪問自動化的優勢,這意味著可以從其他位置遠程控制系統的任何部分。為了確保準確一致的過程控制,BROOKS/PRI AUTOMATION ZBot設計了多傳感器和RFID標記標識。這樣可以確保每個晶片在設備內得到適當的處理和正確的跟蹤。高級跟蹤功能還使用戶能夠監視流程歷史記錄並存儲每個晶片的各個流程參數,從而提高流程管理的效率。BROOKS ZBot還提供卓越的可靠性和安全功能。它的閉環機器人機器允許對每個晶片的位置進行精確、實時的監控，並消除人為錯誤的風險。它還包括安全協議，確保晶圓表面和機器人手臂之間沒有物理接觸，減少汙染的機會。最後,PRI AUTOMATION ZBot工具旨在方便設置、安裝、培訓和維護。其直觀的圖形用戶界面（GUI）簡化了操作，而其可視編程環境則允許用戶通過幾次鼠標點擊來自定義編程序列。它還包括用於故障排除的聯機幫助資產。總體而言,ZBot是一款功能強大的晶圓處理器,可提供高效可靠的性能。它旨在簡化流程流程、最大限度地提高吞吐量並減少復雜性,同時確保安全可靠的流程。