二手 BROOKS Techware 5 #9153587 待售

BROOKS Techware 5是一款先進的自動晶圓處理程序，設計了機器人技術、機制和視覺系統的最新進展。Techware 5在緊湊、低調的設計中結合了高速線性運動，在一次無縫操作中提供晶片的加載和卸載。晶片處理程序設計為支持200和300毫米晶片尺寸,同時與工藝室的尺寸匹配,以實現精確的對準和熱完整性。集成視覺系統驗證晶圓的平整度和清潔度，同時也跟蹤晶圓從過程到過程，允許易於操作員跟蹤。BROOKS Techware 5的先進精度是通過采用閉環反饋控制的集成伺服驅動線性和旋轉級來實現的，以確保精度和可重復性。這種高度精確的運動由集成伺服驅動器系統提供動力,該系統包括以2 Gbps速度運行的多核處理器。控制器使用最新的運動控制軟件和內置運動優化算法進行編程,以確定最佳的移動速度,從而實現最大吞吐量,同時確保高精度和可重復性。除了精確的運動控制外,Techware 5還設計了高級安全功能,以保護設備和人員。操作員受到安全圍欄的保護，安全圍欄用作聯鎖裝置，以防止在圍欄打開時操作。集成的光幕特征識別任何可能破壞操作的障礙物或異物。設計中還提供了一個緊急停止按鈕,該按鈕在激活時終止所有運動活動,並通知操作員采取適當的操作。BROOKS Techware 5提供可靠的數據處理和通信功能,使其能夠輕松集成到各種系統中。它符合SEMI標準E92和E39,具有實時通信和集成錯誤檢測功能。Techware 5還具有強大的診斷功能,使用最新的網絡接口進行遠程訪問和診斷。由於其先進的運動控制、可靠的通信和高精度，BROOKS Techware 5是一款功能強大、可靠的晶圓處理程序，能夠為300毫米晶圓提供高效、精確的晶圓處理。它非常適合高速、可重復環境的需求,其緊湊的設計使其非常適合空間有限的制造過程。