二手 BROOKS VTR-5 #169514 待售

BROOKS VTR-5是指定用於半導體制造過程的單晶圓機器人真空傳輸和處理設備。它專為優化晶片吞吐量而設計,可提高清潔度、靈活性、可靠性和可追蹤性。該系統能夠處理和監視100 mm、200 mm、300 mm和450mm晶片,而無需定制的加載和卸載組件。VTR-5具有與幾乎所有類型的晶片兼容的真空傳輸頭和安全且可重復的傳輸過程。此外,它的12英寸觸摸靈敏液晶控制面板提供了廣泛的操作、診斷和維護信息。該設備還具有自動清除和自動中心功能,可實現更好的傳輸性能和過程重復性。該機配有配備4級、伺服控制、氣動晶片握把的晶片升降機和適用於分類級生產環境的氣密室。基於磁性粒子的設計接口可防止晶圓處理不當,並確保良好的處理性能。它的模塊化設計還允許方便的維修和維護,並且可以快速訪問設備的內部組件。BROOKS VTR-5還提供了吞吐量和清潔度性能的卓越組合,每個晶片的循環時間僅為4.6秒,它還具有實時RFID跟蹤功能,可實時監控從工具加載和卸載的所有晶片。此外，它的LPC傳輸技術，使晶片跟蹤和追蹤從晶片批次，從而產生最大的生產可靠性。VTR-5是一種可靠、經濟高效的半導體設備,可提高清潔度和可追蹤性,具有高吞吐量和可重復性的競爭周期時間。其簡單的模塊化設計，加上直觀的圖形用戶界面，保證了優質的生產線和優越的操控性能。