二手 BROOKS VTR-5 #83742 待售

製造商
BROOKS
模型
VTR-5
ID: 83742
Robots, Model 001-7600-07.
BROOKS VTR-5晶圓處理器是一個令人印象深刻的設備,設計用於半導體生產或研究實驗室。這臺機器設計用於一次操縱八個平板杯板,使其能夠在整個設備中快速高效地移動單個直徑200毫米的晶圓。機器通過交互式、易於使用的觸摸屏用戶界面進行控制。一系列強大的步進電機提供旋轉、傾斜和移動晶片所需的機械動力。晶片全部加載到系統中,在生產過程中,用戶可以通過按下按鈕將其移動到正確的杯子或盤子位置。這些晶片在高度可靠的彈簧加載膨脹支架臂的幫助下,在移動過程中都牢固地固定在適當的位置。手臂設計用來吸收與運動和旋轉相關的振動和沖擊。VTR-5還具有獨立的溫度控制冷卻裝置。這允許用戶在操縱晶片時確保晶片的最佳溫度。此設備還具有內置校準功能,允許用戶定期檢查機器的精度。BROOKS VTR-5是一種可靠、高速、精確的晶圓處理程序。該工具以每分鐘25個晶圓的速度運行,其安靜、低振動的操作使其即使在嚴格的清潔室協議下也能運行。由於其不銹鋼結構,資產還需要最低限度的維護,而且其極長的部件使用壽命可確保更少的停機時間和更高的整體效率。VTR-5非常適合於高吞吐量生產過程或需要極其可靠和準確結果的研究應用。其直觀的觸摸屏界面使模型非常人性化,堅固的構造和較長的組件壽命保證了長期的可靠性和一致的性能。
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