二手 BROOKS WTM-511 #132336 待售

BROOKS WTM-511 Semiconductor Wafer Handler是一種全自動晶圓傳輸機制，旨在提高生產率和吞吐量，同時減少晶圓斷裂，在微電子制造業。WTM-511是一種馬達驅動的、低矮的設備，在廣泛的溫度、濕度和清潔水平範圍內運行。它包括保護操作員和產品所需的所有安全功能。它設計用於處理直徑從150毫米到200毫米的裸晶片和鈍化晶片,吞吐量高。處理程序包括廣泛的定制部件，包括直驅電機、低調夾具驅動系統、晶圓運動控制凸輪、高速光學互鎖以及雙機器人升力機構。直驅電動機能夠達到高達1,000 rpm的轉速，並提供高度的精度和速度。低調的夾具釋放單元降低了設備的高度，防止晶圓因垂直位移或顛簸而斷裂。凸輪驅動的晶圓運動控制機每次都準確一致地將處理程序定位到同一點，提高了可靠性，降低了晶圓損壞的風險。為了額外的安全，高速光學互鎖監視處理程序周圍的大氣狀況，並在條件不在必要要求範圍內時采取行動停止處理程序。雙機器人提升機構使操作員能夠安全地插入或移除晶片而不會造成損壞的風險。BROOKS WTM-511是一種高效可靠的微電子制造工具。它增加吞吐量，同時減少晶圓斷裂和保護操作員。其直接驅動電機、低調夾具釋放工具、晶圓運動控制凸輪、高速光學互鎖和雙機器人提升機構只是其中的一些功能，使其成為任何希望提高其半導體工藝生產率和準確性的人的理想選擇。