二手 COMET R2D #9397149 待售

COMET R2D Wafer Handler是一種自動化、功能齊全的單晶片加工設備,專為工業半導體制造應用而設計。它是生產、安全和可靠性的理想解決方案。該系統具有很高的可靠性和易用性，因為它采用了雙軸機械臂與運動控制和晶圓處理工具。R2D具有200 mm晶片處理能力,並為晶片處理提供了一整套選項和工藝工具,包括傳輸、驗證、蝕刻、清潔和掩蔽。晶圓處理程序配備了強大的機械臂，可實現精確的晶圓運動，非常適合高通量生產。它在距離晶圓中心50毫米的偏心坐標範圍內提供晶圓的快速準確定位。此外，該臂具有高精度的傳感器單元，為精確的觸角提供自由形式的運動，並保持晶圓處理的高精度。COMET R2D還包括一個電機控制選項，使精確和可重復晶圓運動速度。在晶片處理和加工工具方面，機器配備了多個晶片處理模塊，包括濕蝕刻、自旋塗層、光刻、幹蝕刻，實現了從潔凈間到光刻到蝕刻的全晶片工藝步驟。此外，該工具還結合了具有多種警報和緊急停止功能的完全集成的安全資產，保證了設備的安全運行。此外，該模型設計方便可靠的維護，內置模塊易於更換和校準。總體而言,R2D Wafer Handler是需要高精度和高通量半導體制造的工業應用的理想解決方案。該設備提供可靠、用戶友好和高效的解決方案,確保晶圓處理的安全和準確。