二手 DENSO RC7M-WLBA #9411594 待售

DENSO RC7M-WLBA是為滿足先進半導體制造設施的要求而設計的高性能晶圓處理器。這款最先進、可靠的晶圓處理程序設計用於輸送直徑200 mm、300 mm和450mm的晶圓，最大晶圓尺寸為28.5mm，最小晶圓尺寸為3mm。RC7M-WLBA能夠在各種過程參數中運行,例如溫度、對齊器和真空級別,從而實現完整的過程控制。DENSO RC7M-WLBA采用模塊化概念設計,在安裝和重新配置方面具有靈活性。其結構由一個基座、一個框架和多個工具組成，允許更大的過程控制。作為模塊化概念的一部分，基座由接受卡帶或吊艙用於裝卸晶片的負載端口組成。框架容納包括對準器、盒式磁帶、真空系統和晶圓處理組件在內的模具模塊，這些組件支持待處理的晶圓尺寸範圍。RC7M-WLBA還配備了獨立的電源和集成的機器人控制設備。機器人控制系統負責處理程序及其子系統的操作、移動和監控。此外，集成機器人控制單元能夠實現基於特征的編程，並提供快速的響應時間，提高吞吐量。此外,DENSO RC7M-WLBA還配備了一臺SELF監視機,用於監視卷到卷操作、盒式磁帶交換和其他刀具操作。此資產收集的所有信息都存儲在內存中,從而可以快速傳輸數據並提高機器可靠性。作為標準配置的一部分,RC7M-WLBA包括防止處理程序與其環境之間發生碰撞的鄰近傳感器。DENSO RC7M-WLBA晶片處理程序設計用於以下應用：外延、氧化、化學氣相沈積、濺射、光刻、熱加工和晶片處理。此外，它還可以集成到現有的工藝工具中，如離子植入器、HB-LED沈積系統、幹蝕刻、計量設備等等。這款先進的晶圓處理程序旨在確保效率、可靠性和安全性。它的設計允許輕松安裝、快速設置和維護,增加了機器的正常運行時間並減少了停機時間。此外，其模塊化概念允許升級，這有助於隨著時間的推移保持其價值。總之，RC7M-WLBA是先進半導體制造設施的理想解決方案。